[发明专利]用于制作光分路器的玻璃光波导的生产工艺在审
| 申请号： | 201410595039.2 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104375240A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 余波;宗瑞朝;黎林;青晓英;杜泽永 | 申请（专利权）人： | 成都康特电子高新科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134;G02B6/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于制作光分路器的玻璃光波导的生产工艺，包括如下步骤：研磨层制作，在玻璃基片上溅射一层铝，作为离子交换时的掩膜层；光刻处理，将需要的波导图形用光刻胶保护；去掉铝膜，采用化学腐蚀，将波导上部的铝膜取掉；沟道型光波导制作，将做好掩膜的玻璃基片放入含银离子和钠离子的混合溶液中，进行离子交换，得到沟道型光波导；掩埋型玻璃光波导制作，对沟道型光波导施以电场，将银离子趋向玻璃基片深处，得到掩埋型玻璃光波导。本发明通过上述原理，能够让银离子和钠离子的交换更彻底快速，银离子能更好的趋向玻璃基片深处，制得的玻璃光波导品质更好。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制作 分路 玻璃 波导 生产工艺 | ||
【主权项】：
用于制作光分路器的玻璃光波导的生产工艺，其特征在于，包括如下步骤：研磨层制作，在玻璃基片上溅射一层铝，作为离子交换时的掩膜层；光刻处理，将需要的波导图形用光刻胶保护；去掉铝膜，采用化学腐蚀，将波导上部的铝膜取掉；沟道型光波导制作，将做好掩膜的玻璃基片放入含银离子和钠离子的混合溶液中，进行离子交换，得到沟道型光波导；掩埋型玻璃光波导制作，对沟道型光波导施以电场，将银离子趋向玻璃基片深处，得到掩埋型玻璃光波导。
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