[发明专利]光刻胶剥离液制备方法有效
| 申请号： | 201410574837.7 | 申请日： | 2014-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN104330959B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 李虎宝;翁蕾蕾 | 申请（专利权）人： | 江阴市化学试剂厂有限公司;江南大学 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙)32210 | 代理人： | 唐纫兰,隋玲玲 |
| 地址： | 214421 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶剥离液制备方法，其特征在于其特征在于它是在配料罐中加入甲苯或二甲苯为溶剂，向其中通入苯酚，混合；将乳化剂用水稀释，然后其中加入络合剂，混合均匀后，过滤后，加入至配料罐中，混合后，过滤，得成品；其中乳化剂为OP‑10与TX‑100按0.5‑21混合而成，乳化剂的加入质量为苯酚的0.1‑0.6%；络合剂为二乙烯三胺五乙酸与羟乙基乙烯二胺三乙酸按10.5‑2的质量比混合而成，络合剂的加入质量为乳化剂的3‑8%。本发明光刻胶剥离液制备方法生产出的光刻胶剥离液具有油溶性好水溶性好，不会侵蚀铝银材质的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 剥离 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶剥离液制备方法，它是在配料罐中加入甲苯或二甲苯为溶剂，向其中通入苯酚，混合；其特征在于，它还包括：将乳化剂用水稀释，然后其中加入络合剂，混合均匀后，过滤后，加入至配料罐中，混合后，过滤，得成品；其中：乳化剂为OP‑10与TX‑100按0.5‑2:1混合而成，乳化剂的加入质量为苯酚的0.1‑0.6%；络合剂为二乙烯三胺五乙酸与羟乙基乙烯二胺三乙酸按1:0.5‑2的质量比混合而成，络合剂的加入质量为乳化剂的3‑8% 。
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