[发明专利]利用共聚焦显微镜对试样表面进行三维重建的方法在审
申请号: | 201410564323.3 | 申请日: | 2014-10-21 |
公开(公告)号: | CN104318620A | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 卞欣;范益 | 申请(专利权)人: | 南京钢铁股份有限公司 |
主分类号: | G06T17/30 | 分类号: | G06T17/30 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立;艾中兰 |
地址: | 210035*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种利用共聚焦显微镜对试样表面进行三维重建的方法,属于材料分析与测试领域。本发明充分利用了共聚焦显微镜的超大景深,同时排除掉来自非焦平面的反射光的干扰,从而可以得到高清晰度、高对比度的三维立体形貌,弥补了扫描电镜以及金相显微镜存在的一些不足之处。由于实验参数取值范围缩小,参数取值更具针对性和可操作性,所以不但提高了实验结果的准确性,而且大大节约了实验时间,从而提高了共聚焦显微镜的实验效率。 | ||
搜索关键词: | 利用 聚焦 显微镜 试样 表面 进行 三维重建 方法 | ||
【主权项】:
一种利用共聚焦显微镜对试样表面进行三维重建的方法,其特征在于包括如下步骤: (1)放入样品,在明场观察模式下找到焦平面 启动 Zen2010 共聚焦软件,切换为明场观察模式,打开卤素灯,将明场光学模块转入光路;放入样品,精确确定样品观察区域;(2)将明场观察模式切换到激光扫描模式 在Zen2010共聚焦软件中,点击“Ocular”标签,选择“Online”,点击“Acquisition”按钮,将明场光学模块转出光路,LSM700转入激光扫描模式; (3)设置激光扫描参数在“Acquisition”和“ Channels ”标签下进行扫描参数的设置:将Lasers设置为3.0~6.0%范围; 将Pinhole设置为1AU 36.0~47.0 范围;将Master Gain设置为200~450范围;将Digital Offset设置为1.0~5.0范围;将Digital Gain设置为0~3.0范围;各参数设置完成后,在激光扫描模式下进行扫描和成像,得到清晰的共聚焦图像; (4)选用“Z‑Stack”模式,完成光学切片; (5)利用软件合成2D图像; (6)分析扫描结果,进行三维形貌重建。
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