[发明专利]同时降低发散角和阈值电流的激光器的制备方法

摘要

一种同时降低发散角和阈值电流的激光器的制备方法，包括以下步骤步骤1在砷化镓衬底上依次制作n型限制层、n型低折射率插入层、n型波导层、量子阱有源区、p型波导层、p型低折射率插入层、p型限制层和p型接触层；步骤2将P型接触层和P型限制层湿法腐蚀或干法刻蚀成脊型；步骤3在刻蚀成脊型上生长一层氧化模，并采用光刻的方法在p型接触层的上表面制作p型欧姆电极；步骤4将砷化镓衬底减薄、清洗，并在砷化镓衬底的背面制作n型欧姆电极，形成激光器；步骤5进行解理，在激光器的腔面镀膜，最后封装在管壳上，完成制备。本发明可以提高激光器激射的单模特性，提高光束质量。

主权项

一种同时降低发散角和阈值电流的激光器的制备方法，包括以下步骤：步骤1：在砷化镓衬底上依次制作n型限制层、n型低折射率插入层、n型波导层、量子阱有源区、p型波导层、p型低折射率插入层、p型限制层和p型接触层；步骤2：将P型接触层和P型限制层湿法腐蚀或干法刻蚀成脊型；步骤3：在刻蚀成脊型上生长一层氧化膜，并采用光刻的方法在p型接触层的上表面制作p型欧姆电极；步骤4：将砷化镓衬底减薄、清洗，并在砷化镓衬底的背面制作n型欧姆电极，形成激光器；步骤5：进行解理，在激光器的腔面镀膜，最后封装在管壳上，完成制备；其中n型低折射率插入层与p型低折射率插入层为非对称掺杂，使有源区的位置向n型区域靠近；n型低折射率插入层的材料为n型铝镓砷或铟镓砷材料，厚度为0.1‑0.6μm，n型铝镓砷中的铝组分为0.7‑1，铟镓砷材料中的铟组分为0.1‑0.3，其带隙宽度高于n型波导层的带隙宽度；p型低折射率插入层的材料为p型铝镓砷或铟镓砷材料，厚度为0.1‑0.6μm，p型铝镓砷中的铝组分为0.7‑1，p型铝镓砷中的铟组分为0.1‑0.3，其带隙宽度高于p型波导层的带隙宽度。