[发明专利]EUV光源和曝光装置

摘要

一种EUV光源和曝光装置，其中所述EUV光源，包括液滴阵列，包括沿扫描方向排布的若干喷嘴，适于依次向下方的辐射位置喷吐液滴；激光源，适于产生第一激光束和第二激光束，并使第一激光束和第二激光束分别沿扫描方向扫描，交替的轰击到达辐射位置的不同排的液滴，形成辐射极紫外光；聚光镜和第一驱动装置，第一驱动装置驱动所述聚光镜旋转扫描，收集的极紫外光汇聚于中心焦点，聚光镜包括上部分聚光镜和下部分聚光镜，上部分聚光镜包括至少两个第一子聚光镜，下部分聚光镜包括至少两个第二子聚光镜，每个第一子驱动装置与一个第一子聚光镜连接，每个第二子驱动装置与一个第二子聚光镜连接。本发明的EUV光源输出的极紫外光的功率增加。

主权项

一种EUV光源，其特征在于，包括：液滴阵列，所述液滴阵列包括沿扫描方向排布的若干喷嘴，若干喷嘴适于依次向下方的辐射位置喷吐液滴；激光源，适于产生第一激光束和第二激光束，并使第一激光束和第二激光束分别沿扫描方向扫描，交替的轰击到达辐射位置的不同排的液滴，液滴受到第一激光束或第二激光束轰击时形成等离子体，等离子体辐射极紫外光；聚光器，所述聚光器包括聚光镜和与聚光镜连接的第一驱动装置，第一驱动装置适于驱动所述聚光镜旋转扫描，使得聚光镜收集辐射的极紫外光，并将收集的极紫外光汇聚于中心焦点，所述聚光镜包括分离的上部分聚光镜和下部分聚光镜，上部分聚光镜位于下部分聚光镜上方，所述上部分聚光镜包括分离的至少两个第一子聚光镜，所述下部分聚光镜包括分立的至少两个第二子聚光镜，所述第一驱动装置包括至少两个第一子驱动装置和至少两个第二子驱动装置，每个第一子驱动装置与一个第一子聚光镜连接，每个第二子驱动装置与一个第二子聚光镜连接，所述至少两个第一子驱动装置驱动对应的至少两个第一子聚光镜同步旋转扫描，所述至少两个第二子驱动装置驱动对应的至少两个第二子聚光镜同步旋转扫描。