[发明专利]为离子植入建立中电流带状离子束的方法及其离子束系统在审
| 申请号： | 201410541752.9 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN104835709A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·凯姆;查尔斯·M·弗里;大卫·豪格伦德;威廉·P·普拉托夫;库罗什·萨阿达特曼德 | 申请（专利权）人： | 汉辰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 中国台湾新竹县宝山乡*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种为离子植入建立中电流带状离子束的方法，其系提供一包含有工作气体及运载气体的离子源，并藉由调整工作气体及运载气体的比例，以控制离子源中一工作离子束的强度，之后并利用质量分析仪将运载气体自工作离子束分离。亦可藉由于离子源下游设置一或多个机械式电流限制装置来控制工作离子束的强度。此方法可控制到达晶圆的带状离子束总强度约在3μA到3mA之间。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 建立 电流 带状 离子束 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
一种为离子植入建立中电流带状离子束的方法，其特征在于，包含：提供包含有工作气体及运载气体的离子源；及调整该离子源中该工作气体及该运载气体的比例，以控制该离子源中工作离子束的源等离子体密度。
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