[发明专利]一种提高薄膜太阳能电池转换效率的方法

摘要

本发明涉及薄膜太阳能电池光伏领域，提供了一种提高薄膜太阳能电池转换效率的方法，所述的薄膜太阳能电池包括基板、背电极、P型光吸收层、N型缓冲层和窗口层，所述的背电极、P型光吸收层、N型缓冲层和窗口层依序沉积在基板上。所述的窗口层包括本征层和掺杂导电层，所述的本征层为本征氧化锌i-ZnO薄膜，所述的掺杂导电层为铝掺杂氧化锌ZnO∶Al薄膜或硼掺杂氧化锌ZnO∶B薄膜，所述的本征层和掺杂导电层均以二乙基锌或二甲基锌作为锌源采用低气压化学气相沉积法沉积成膜，所述的本征层和掺杂导电层依序沉积在N型缓冲层表面。本发明的制备方法制备的太阳能电池具有转换效率高、工艺设备要求低、便于规模化生产和成本低廉的特点。

主权项

一种提高薄膜太阳能电池转换效率的方法，所述的太阳能电池包括基板、背电极、P型光吸收层、N型缓冲层和窗口层，所述的背电极、P型光吸收层、N型缓冲层和窗口层依序沉积在基板上，其特征在于：所述的窗口层包括本征层和掺杂导电层，所述的本征层为本征氧化锌i‑ZnO薄膜，所述的掺杂导电层为铝掺杂氧化锌ZnO∶Al薄膜或硼掺杂氧化锌ZnO∶B薄膜，所述的本征层和掺杂导电层均以二乙基锌或二甲基锌作为锌源采用低气压化学气相沉积法沉积成膜，所述的本征层和掺杂导电层依序沉积在N型缓冲层表面。