[发明专利]一种导模法生长铽镓石榴石晶体的生长装置及其生长工艺

摘要

本发明公开了一种导模法生长铽镓石榴石晶体的生长装置及其生长工艺，采用在生长炉体内设有下保温套，在下保温套的上端面设有中保温套，在中保温套的上端面设有上保温套，在上保温套的上端面设有保温顶盖，在下保温套的外部套接有感应线圈，在下保温套轴孔内滑动安装有托座，在托座的上端面设有坩埚，在托座的下端面连接有升降托杆，在坩埚内设有结晶模具，在上保温套和保温顶盖之间设有后加热片；在上保温套轴孔内设有籽晶夹具，在籽晶夹具上安装籽晶，在籽晶夹具上连接有籽晶杆，籽晶杆的上端部与籽晶实时可调机构连接。本发明可根据要求生长不同形状的晶体，可大大简化晶体的加工程序，降低加工损耗，节省成本。

主权项

一种导模法生长铽镓石榴石晶体的生长装置，其特征是：在生长炉体（1）内设有下保温套（2），在下保温套（2）内沿着其轴向设有呈圆柱形的下保温套轴孔（2.1），在下保温套（2）的上端面设有中保温套（3），在中保温套（3）内沿着其轴向设有呈圆台形的中保温套轴孔（3.1），中保温套轴孔（3.1）的小口朝上，中保温套轴孔（3.1）的大口朝下，在中保温套（3）的上端面设有上保温套（4），在上保温套（4）内沿着其轴向设有呈圆柱形的上保温套轴孔（4.1），且下保温套轴孔（2.1）、中保温套轴孔（3.1）与上保温套轴孔（4.1）呈同轴相接，在上保温套（4）的上端面设有保温顶盖（5），保温顶盖（5）内沿着其轴向设有呈圆柱形的保温顶盖轴孔（5.1），在下保温套（2）的外部套接有感应线圈（6），在下保温套轴孔（2.1）内滑动安装有托座（7），在托座（7）的上端面设有坩埚（8），在托座（7）的下端面连接有升降托杆（9），在坩埚（8）内设有结晶模具（10），在上保温套（4）和保温顶盖（5）之间设有后加热片（11），在后加热片（11）的上端面设置有后加热片上凸环（11.1），后加热片上凸环（11.1）的外径与保温顶盖轴孔（5.1）的直径一致，在后加热片（11）的下端面设置有后加热片下凸环（11.2），后加热片下凸环（11.2）的外径与上保温套轴孔（4.1）的直径一致；在所述上保温套轴孔（4.1）内设有籽晶夹具（12），在籽晶夹具（12）上安装籽晶，在籽晶夹具（12）上连接有籽晶杆（13），籽晶杆（13）穿过保温顶盖轴孔（5.1），籽晶杆（13）的上端部与籽晶实时可调机构连接。