[发明专利]化学机械研磨设备的环扣钢圈装置在审
| 申请号： | 201410520777.0 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN104290023A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 丁弋;朱也方 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种化学机械研磨设备的环扣钢圈装置，包括：研磨头钢圈，其具有第一表面和与第一表面相对的第二表面，所述第一表面中设置有盲孔，所述盲孔的深度小于所述第一表面和第二表面的距离；研磨环扣，所述研磨环扣朝向所述第二表面的表面与所述第二表面之间的接触面为非平面，以增大所述研磨环扣与所述研磨头钢圈之间的胶合作用。本发明解决了研磨环扣与研磨头钢圈之间平面接触导致两者容易脱离的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 设备 钢圈 装置 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨设备的环扣钢圈装置，其特征在于，包括：研磨头钢圈，其具有第一表面和与第一表面相对的第二表面，所述第一表面中设置有盲孔，所述盲孔的深度小于所述第一表面和第二表面的距离；研磨环扣，所述研磨环扣朝向所述第二表面的表面与所述第二表面之间的接触面为非平面，以增大研磨环扣与所述研磨头钢圈之间的胶合作用。
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