[发明专利]检测装置、光刻装置以及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201410506206.1 | 申请日： | 2014-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN104516214B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 赤松昭郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开检测装置、光刻装置以及物品的制造方法。检测设置于基板的多个标记的检测装置包括第1观测仪器，向多个标记中的第1标记照射光，通过被反射的光检测第1标记；第2观测仪器，向多个标记中的与第1标记不同的第2标记照射光，通过被反射的光检测第2标记；以及光学部件，具有使从第1观测仪器射出的光透过以入射到基板的透过部和将从第2观测仪器射出的光朝向基板反射的面，通过改变入射到光学部件的来自第1观测仪器的光的入射位置和由光学部件的面反射的来自第2观测仪器的光的反射位置的相对位置，从第1观测仪器射出的光透过透过部而照射的基板上的位置与从第2观测仪器射出的光由面反射而照射的基板上的位置之间的距离发生变化。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 光刻 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种检测装置，检测设置于基板的多个标记，其特征在于，该检测装置包括：第1观测仪器，向所述多个标记中的第1标记照射第1光，通过由所述第1标记反射的光检测所述第1标记；第2观测仪器，向所述多个标记中的与所述第1标记不同的第2标记照射第2光，通过由所述第2标记反射的光检测所述第2标记；以及光学部件，具有透过所述第1光而使所述第1光入射到所述基板的透过部分和反射所述第2光而使所述第2光入射到所述基板的面，通过改变入射到所述光学部件的所述第1光的入射位置和由所述光学部件的所述面反射的所述第2光的反射位置的相对位置，所述第1光照射的所述基板上的照射位置与所述第2光照射的所述基板上的照射位置之间的距离发生变化。
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