[发明专利]一种具有高抗损伤能力的激光器关闸系统有效
申请号: | 201410504742.8 | 申请日: | 2014-09-26 |
公开(公告)号: | CN104280878B | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 林学春;陈寒;张志研;于海娟;张玲;邹淑珍 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;H01S3/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有高抗损伤能力的激光器关闸系统,其包括偏转控制系统、全反镜、位于全反镜光路上的吸收体;其中,所述偏转控制系统利用旋转的方式控制全反镜移入和移出激光光路;所述吸收体为空心柱体结构,其一端为封闭端,另一端为激光入射端,所述封闭端内部底端具有一凸起的圆锥体,所述激光入射端固定有光束发散元件,使入射的激光预先发散;所述光束发散元件的表面、空心柱体的内部侧壁及圆锥体表面构成一冷却体,其内部注入冷却水,用于冷却光束发散元件、空心圆柱体内部侧壁及圆锥体表面。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 损伤 能力 激光器 关闸 系统 | ||
【主权项】:
一种具有高抗损伤能力的激光器关闸系统,其包括偏转控制系统、全反镜、位于全反镜光路上的吸收体;其中,所述偏转控制系统利用旋转的方式控制全反镜移入和移出激光光路;所述吸收体为空心柱体结构,其一端为封闭端,另一端为激光入射端,所述封闭端内部低端具有一凸起的圆锥体,所述激光入射端固定有光束发散元件,使入射的激光预先发散;所述光束发散元件固定于所述吸收体空心柱体内壁,其尺寸符合激光入射端的柱体内径;所述光束发散元件的表面、空心柱体的内部侧壁及圆锥体表面构成一冷却体,其内部注入冷却水,用于冷却光束发散元件、空心圆柱体内部侧壁及圆锥体表面;所述吸收体封闭端柱体外表面两侧分别开有冷却水入口和冷却水出口,冷却水从所述冷却水入口注入,充满所述冷却体后,从所述冷却水出口流出,形成循环的水冷回路。
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