[发明专利]应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置及软膜压印方法有效
| 申请号： | 201410504396.3 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN105511223B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光越微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 魏亮芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于紫外固化纳米压印的软膜压印装置，包括滚动单元和模板，该模板于其上连接处形成与滚动单元的固定连接或者可拆卸连接，该模板的其余部分则覆于滚动单元的滚动面。同时，本发明还公开了一种应用于紫外固化纳米压印的软膜压印方法。本发明的软膜压印装置相较于现有技术，其对模板的压印制作是逐渐展开的，因此其对模板的压制力是均匀分布的，由此便不会产生像现有技术中所产生的模板覆盖深浅的问题，从而保证图案印制的均匀性，提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 紫外 固化 纳米 压印 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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