[发明专利]一种适用于硅片品质分选设备的上料系统及上料方法有效
| 申请号： | 201410497429.6 | 申请日： | 2014-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN104307759B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 尹昊;陈勇平;郭立;王娟;龙辉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司43113 | 代理人： | 马强,李发军 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于硅片品质分选设备的上料系统。所述上料系统主要由多组上料单元组成，每组上料单元结构相同；每组上料单元包括垂直导轨，该垂直导轨上装有上料盒，所述上料盒内装有花篮盒；所述垂直导轨一侧设有一个水平传送机构，该水平传动机构用于将花篮盒内的硅片送至下游工位，且水平传送机构的输出端设有一水平导轨，多个所述水平传送机构水平往复移动而切换相应的水平传送机构与下游工位对接，使多组上料单元中一个上料盒进行上料的同时，余下的上料盒进行装载。本发明采用多组上料单元安装在水平运动的水平导轨上，实现多组上料单元左右切换，当一个上料单元在上料时，余下的进行装载花篮盒，从而实现不间断送料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 硅片 品质 分选 设备 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种适用于硅片品质分选设备的上料系统，其特征在于，主要由多组上料单元组成，每组上料单元结构相同；每组上料单元包括垂直导轨（2），该垂直导轨（2）上装有在第一驱动装置驱动下可沿垂直导轨（2）上下移动的上料盒（3），所述上料盒（3）内装有至少一个用于盛装硅片（5）的花篮盒（4）；所述垂直导轨（2）一侧设有一个水平传送机构，该水平传送机构用于将花篮盒（4）内的硅片（5）逐一水平传送至下游工位，且多组上料单元的水平传送机构的输出端设有一水平导轨（13），在第二驱动装置的驱动下多个所述水平传送机构可随水平导轨（13）水平往复移动而切换相应的水平传送机构与下游工位对接，使多组上料单元中一个上料盒进行上料的同时，余下的上料盒进行装载。
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