[发明专利]NEA GaAs光电阴极用的悬臂式监测光源装置

摘要

本发明公开了一种NEA GaAs光电阴极用的悬臂式监测光源装置，包括位于观察窗法兰一侧的UHV腔室内部分和另一侧的光源及其紧固件部分，将UHV腔室内的全部光路构件和反射镜构件悬挂在UHV腔室的法兰上，采用无氧铜材质抛光面反射镜，最大限度的减少了本发明的光源装置对UHV腔室的UHV性能造成任何不利影响。本发明能够在一个UHV激活腔室内同时实现原位透射式和反射式两种光电流监测机制。

主权项

一种NEA GaAs光电阴极用的悬臂式监测光源装置，包括位于观察窗法兰一侧的UHV腔室内部分和另一侧的光源及其紧固件部分，其特征在于：所述的UHV腔室内部分包括双面夹心法兰、光路支撑筒、反射镜支架和平面反射镜，模拟样品通过样品架固定在UHV腔室内，在UHV腔室的反射式光源和模拟样品连线的延长线上，平面反射镜通过反射镜支架固定在光路支撑筒一端，光路支撑筒另一端和UHV腔室内的全部光路构件通过双面夹心法兰和观察窗法兰，以悬臂式结构固联在CF35法兰基座上，由光源发出的光线经过平行光管产生的平行光束，穿过观察窗法兰的玻璃窗口、并经过双面夹心法兰的中心孔和光路支撑筒的内腔，投射在平面反射镜上，再经过平面反射镜的45°反射，最终投射到模拟样品上；所述的光源及其紧固件部分包括白炽灯泡、散热筒、毛玻璃片、平行光管和滤光片，所述散热筒一端内侧安装白炽灯泡，另一端设有毛玻璃片且同轴联通平行光管，在平行光管内按照远离白炽灯泡的顺序还设有中性滤光片、光学透镜、光阑和滤光片，保证在观察窗法兰处得到一束能够满足NEA GaAs光电阴极激活要求、波长范围为400nm—1000nm、光强度为毫流明量级、光斑直径可调的平行光束。