[发明专利]一种压力衰减法测量小孔流导的方法

摘要

本发明公开了一种压力衰减法测量小孔流导的方法，其采用压力衰减法将上游室充气压力经被测小孔衰减后在下游室形成动态平衡的压力，利用线性良好的电容薄膜真空计、超高真空热阴极电离真空计分别测量上游室、下游室压力，并利用形状规则、几何尺寸可精确计量的限流小孔的流导值可准确计算的特性，得到被测小孔对应充气压力下的流导测量结果。本发明有效缩短了测量时间，提高了小孔流导的测量效率；解决低压力及高压力小孔流导测量的难题，实现了小孔流导的全量程测量，且测量不确定度较小。

主权项

一种压力衰减法测量小孔流导的方法，该方法包括下列步骤：步骤1、将被测小孔(5)连接至上游室(3)与下游室(6)之间；下游室(6)的抽气管路上设有限流小孔(8)；步骤2、联通抽气机组(10)与上游室(3)和下游室(6)之间的抽气管路，对上游室(3)和下游室(6)进行抽气；打开上游室(3)上连接的绝压式电容薄膜真空计(2)；当下游室(6)内压力低于10^‑2Pa数量级时，打开下游室(6)上连接的超高真空热阴极电离真空计(7)；步骤3、开始对上游室(3)和下游室(6)进行匀速率升温烘烤，并在烘烤最高温度保持一段时间，随后匀速率降温，降温阶段对超高真空热阴极电离真空计(7)进行除气，继续降温至室温后，停止烘烤；继续抽气直至达到极限真空度后执行步骤4；步骤4、切断上游室(3)的抽气管路，保持下游室(6)抽气管路的联通；联通上游室(3)、被测小孔(5)和下游室(6)之间的管路，待上游室(3)压力稳定后，对绝压式电容薄膜真空计(2)进行调零；步骤5、打开气源与上游室(3)之间的第一真空阀门(1)，向上游室(3)充入测试气体，根据小孔流导所需测试压力调节第一真空阀门(1)的开度，使得上游室(3)按照由低压力至高压力的顺序建立相应测试压力点，并记录各测试压力点处的绝压式电容薄膜真空计(2)的示值p₁及超高真空热阴极电离真空计(7)的示值p₂；步骤6、根据步骤5得到的绝压式电容薄膜真空计(2)及超高真空热阴极电离真空计(7)的示值p₁和p₂，依据公式(1)计算得到各测试压力点处的被测小孔流导值C₁；$C_1=\frac{C_2{p}_2(1-\mathrm{\α})}{(p_1-p_2)}---\left(1\right)$式中：C₂为限流小孔流导值，α为返流比。