[发明专利]一种单针式微米级对象拾放装置及方法

摘要

一种单针式微米级对象拾放装置及方法，它涉及一种微米级对象柔顺拾取和释放的装置及方法，以解决传统机械夹持和真空吸附产生的局部高应力，导致微米接对象拾取任务失败的问题，它包括二号三轴电动平移台、隔振台、一号三轴电动位移平台、三号三轴电动平移台、自紧式夹头、探针、螺旋测微头、热敏电阻元件、毛细管和毛细管夹具；一号三轴电动平移台包括第二连接板、探针驱动电机、第一连接板、测微头夹具和第一连接座；二号三轴电动平移台包括一号显微镜和一号显微镜夹具和第二连接座；三号三轴电动平移台包括二号显微镜、二号显微镜夹具和第三连接座。本发明用于微米级对象的柔顺拾取、转移和释放操作。

主权项

一种单针式微米级对象拾放装置，其特征在于：所述装置包括二号三轴电动平移台(1‑1)、隔振台(1‑4)、一号三轴电动位移平台(1‑10)、三号三轴电动平移台(1‑13)、自紧式夹头(2‑2)、探针(2‑3)、螺旋测微头(2‑4)、热敏电阻元件(2‑5)、毛细管(2‑6)和毛细管夹具(2‑8)；一号三轴电动平移台(1‑10)包括第二连接板(1‑6)、探针驱动电机(1‑7)、第一连接板(1‑8)、测微头夹具(1‑9)和第一连接座(1‑14)；二号三轴电动平移台(1‑1)包括一号显微镜(1‑2)和一号显微镜夹具(1‑3)和第二连接座(1‑15)；三号三轴电动平移台(1‑13)包括二号显微镜(1‑12)、二号显微镜夹具(1‑11)和第三连接座(1‑16)；二号三轴电动平移台(1‑1)、一号三轴电动位移平台(1‑10)和三号三轴电动位移平移台(1‑13)分别布置在隔振台(1‑4)上，探针驱动电机(1‑7)的输出轴竖向设置，探针驱动电机(1‑7)安装在第一连接板(1‑8)上，第一连接板(1‑8)固定在第一连接座(1‑14)上，探针驱动电机(1‑7)的输出轴与第二连接板(1‑6)连接，第二连接板(1‑6)能沿竖直方向上下移动，自紧式夹头(2‑2)的轴向竖向设置，自紧式夹头(2‑2)的上端固装在第二连接板(1‑6)上，自紧式夹头(2‑2)上夹持有探针(2‑3)，位于第二连接板(1‑6)的下方布置有与第一连接板(1‑8)连接的毛细管夹具(2‑8)，毛细管(2‑6)竖向固装在毛细管夹具(2‑8)的下部，毛细管夹具(2‑8)上加工有通道，通道、探针(2‑3)与毛细管(2‑6)三者同轴设置，螺旋测微头(2‑4)的轴向水平设置，测微头夹具(1‑9)固装在第一连接板(1‑8)上并夹持有螺旋测微头(2‑4)，热敏电阻元件(2‑5)安装在螺旋测微头(2‑4)的端部；一号显微镜夹具(1‑3)固接在第二连接座(1‑15)上并夹持一号显微镜(1‑2)，二号显微镜夹具(1‑11)固接在第三连接座(1‑16)上并夹持二号显微镜(1‑12)。