[发明专利]一种IGZO靶材专用氧化镓粉末的制备方法有效
| 申请号： | 201410480312.7 | 申请日： | 2014-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104276597A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 赵科湘 | 申请（专利权）人： | 株洲科能新材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C01G15/00 | 分类号： | C01G15/00 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 412000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种IGZO靶材专用氧化镓粉末的制备方法，该方法是通过氧化喷嘴实现金属镓的氧化和粉碎，所述的氧化喷嘴中央设有圆形金属液孔，圆形金属液孔四周均匀分布有4个气流孔，进行金属镓的氧化和粉碎时，先将金属镓加热后从圆形金属液孔流出，同时，从所述的4个气流孔中同时加压喷出热空气，液态金属镓在气流交汇处被气流冲击、剪切，同时进行氧化反应，形成超细氧化镓粉末；该制备方法操作简单、低成本、不污染环境；制备的氧化镓粉末纯度高、粒径小且分布均匀，满足IGZO靶材的制备要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 igzo 专用 氧化 粉末 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种IGZO靶材专用氧化镓粉末的制备方法，其特征在于，通过氧化喷嘴实现金属镓的氧化和粉碎，所述的氧化喷嘴中央设有圆形金属液孔，圆形金属液孔四周均匀分布有4个气流孔，所述气流孔沿圆形金属液孔轴心20～40°夹角方向设置；进行金属镓的氧化和粉碎时，将金属镓加热到250～350℃后，从圆形金属液孔流出，同时，从所述的4个气流孔中同时以5～10MPa的压力喷出250～350℃热空气，液态金属镓在气流交汇处被气流冲击、剪切，同时进行氧化反应，形成平均粒径为2.5～3μm的氧化镓粉末。
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