[发明专利]一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液在审
| 申请号： | 201410477899.6 | 申请日： | 2014-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104342273A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 付红平;章金兵;胡动力 | 申请（专利权）人： | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 338000 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液，所述冷却液包括水和冷却助剂，所述冷却液还包括硬度大于硅的磨料。在金刚线切割多晶硅片时，金刚线不断对多晶硅片进行磨削切割，冷却液中的磨料通过高速运动的金刚线带动对多晶硅片表面进行磨削，从而在多晶硅片表面形成类似采用切割刃料进行多线切割的方法在硅片的表面形成的表面损伤层，有利于多晶硅片的后续制绒，采用现有的制绒工艺能够实现对多晶硅片进行制绒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 多晶 硅片 冷却液 | ||
【主权项】：
一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液，所述冷却液包括水和冷却助剂，其特征在于，所述冷却液还包括硬度大于硅的磨料。
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