[发明专利]一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法

摘要

本发明公开了一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法，先根据倾斜控制字K对数据进行提取分组，然后再对分组后的数据并行进行Y方向上的倾斜处理，并将倾斜处理后的数据送入DDR2进行缓存，实现不同速度的调整，避免出现因速度不匹配造成的数据丢失；最后，将DDR2中的数据读出进行X方向上的倾斜处理，完成了数据的倾斜处理，经处理后的数据满足了图形发生器可接收的数据的要求，能够被其接收，可将倾斜式曝光中的各种图形数据经处理后都能够成为图形发生器可接收的数据，实现了正确的数据曝光。使用FPGA内部的RAM和数字逻辑电路，实现了对数据倾斜的流水线操作，增强了数据处理能力及缩短了数据处理时间。

主权项

一种在FPGA中实现直写式光刻机数据倾斜的方法，其特征在于，数据倾斜的步骤如下：(1)首先将每行数据按照每列及倾斜控制字K进行提取分组，即将数据每隔K列挑出一列放在一起组成一组，共K组；(2)将步骤(1)得到的各组数据分别送入并行的倾斜模块进行Y方向上的倾斜处理，每组数据中的每列数据依次向下移位一个像素，各组数据之间依次向下移位K个像素，因向下移位所空缺出来的数据位由寄存器的初始化值进行补充；处理后生成的数据送入DDR2进行缓存；(3)最后，将DDR2中存储的数据读出，并进行X方向上的倾斜，即根据倾斜控制字K将数据在X方向上每K行错位一列，因错位所空缺出来的数据位由寄存器的初始化值进行补充，倾斜处理后的图形数据可以满足图形发生器的要求。