[发明专利]从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法

摘要

本发明涉及一种从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法，包括如下步骤：启动泵抽取蚀刻机生产线废酸，进入废酸暂存桶；废酸进入过滤器内，所述过滤器从外向内依次由外壳、滤布和滤管组成，然后流出过滤器进入干净桶，固体颗粒被拦截在滤布表面形成滤饼；所述废酸暂存桶中的废酸降至预设液位或所述过滤器的进出口压差达到预设定值或过滤运行时间达到预设定值时，先补气到过滤器内排走残留液和烘干滤饼，再逆向补气爆破滤饼，回收滤饼；给水冲洗过滤器内部，再补气排水，等待进入下一个循环。本发明不但能够提高废酸回收效率，替代传统落后的回收方式，降低废水站工作量和运营成本，而且也能防止对环境的二次污染，有利于环境保护和操作人员健康。

主权项

一种从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，启动泵抽取蚀刻机生产线废酸，进入废酸暂存桶；步骤二，废酸进入过滤器内，所述过滤器从外向内依次由外壳、滤布和滤管组成，所述过滤器置于封闭的空间中，在初始阶段从所述过滤器排出的酸液及空气返回进入废酸暂存桶；步骤三，经所述滤布过滤后形成的干净酸进入所述滤管中，然后流出过滤器进入干净桶，固体颗粒被拦截在滤布表面形成滤饼；步骤四，所述废酸暂存桶中的废酸降至预设液位或所述过滤器的进出口压差达到预设定值或过滤运行时间达到预设定值时，先补气到过滤器内排走残留液和烘干滤饼，再逆向补气爆破滤饼，回收滤饼；步骤五，给水冲洗过滤器内部，再补气排水，等待进入下一个循环。