[发明专利]从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种获得氢氟酸的工艺方法，具体涉及一种从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法。 

背景技术

针对IT产品的需求，从最初的多功能、高性能、低价格，到现在的追求实用、便捷、薄型化，IT产品满足了用户的基本需求，市场完全普及之后，更加成熟的需求会随之产生。如今的IT产品不但要更加实用，从设计层面就要考虑到人性化的因素，还要在外观上能体现出用户的个性，赢得消费者的欢心。无论是DC、手机、MP3、MP4等小件的数码产品，还是液晶显示器、液晶电视，外观都朝着薄型化的方向发展。小件的数码产品薄型化设计，不但易于携带出行，同时还能彰显个性，而液晶显示器、液晶电视的薄型化，能够节省电脑桌的空间，易壁挂也能让客厅的布置更加整洁。 

但是，IT产品的薄型化并不是想做就能做到，从无到有，从有到成熟，经历了技术的变革、成本的优化，因此玻璃的减薄工艺应运而出。 

薄化是利用蚀刻机将TFT玻璃和HF起化学反应进而将多余厚度的玻璃去除，从而达到薄化的效果。薄化分两种槽式薄化和流片式薄化。薄化一般流程：来料检查→前清洗→烘干→薄化前处理→薄化→后清洗→烘干→抛光→薄化完成。薄化主要应用在屏幕显示方面，薄化后的LCD屏厚度达到0.3～0.5mm之间，与之前贴合后的1mm节约了不少空间，在显示效果方面更加自然、真实。在生产中会用到大量蚀刻酸，也同时产生大量废酸，蚀刻的主要化学反应是：4HF + SiO₂ = SiF₄ (气体）+ 2H₂O，由于HF酸比较多且过量，则生成的SiF₄可以与HF进一步反应：2HF + SiF₄ = H₂[SiF₆] ，剩下的废酸由于有很强的腐蚀性，里面伴有大量的蚀刻絮凝物，不可随便排放，要么排到废水站中和处理掉，要么经过回收再使用，使用到一定程度再排掉处理。 

目前，从上述废酸中回收HF酸的方法主要有：沉淀法抽上清液、袋式过滤回收、板式压滤机过滤回收。沉淀法的优点是几乎没有投资，利用桶槽或沉淀池来净化分层，在用人工抽取上面的清液回收利用，排放掉下部约15%的浓酸，但是沉淀法的缺点是不适合废酸量大的情况，人工参与对人体有风险，回收的酸不干净，无法将细微颗粒沉降下来，回收率低下，排放掉的酸较多，废水站处理量比较大，投入较多的中和药剂，增加了运营成本及环境风险，不利于对生产现场的现代化管理。袋式过滤回收的优点是安装方便，投资小，过滤的效果比沉淀法干净很多，占地空间小，但是袋式过滤回收的缺点是滤袋更换频繁，不具有反复使用，长期使用耗材较多，且每天使用中都要求人工更换滤袋，效率较低，人员会直接面对酸气，需要人工每天清洗，需要每天维护。板框压滤机回收的优点是基本实现半自动过滤，滤布使用寿命比滤袋较长，过滤效率比袋式高，但是板框压滤机回收的缺点是开放式操作易造成酸的向外挥发，需要人工清理滤饼，现场难管理，易脏、乱，活动部件多易出故障，滤布也需要经常换，需要人工清洗，对现场操作工人存安全风险，不利于工厂现代化“6S”管理。 

因此，对于从上述废酸中回收HF酸的方法仍存在进一步的需求，这也是该技术领域内的研究热点和重点之一，更是本发明得以完成的动力和出发点所在。 

发明内容

为了克服现有技术存在的HF酸回收率低、对环境的污染大和生产成本高的技术问题，本发明人在进行了大量的深入研究之后，提供了一种从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法。 

本发明通过以下技术方案实现，一种从蚀刻机生产线过滤回收氢氟酸的工艺方法，包括如下步骤： 

步骤一，启动泵抽取蚀刻机生产线废酸，进入废酸暂存桶；

步骤二，废酸进入过滤器内，所述过滤器从外向内依次由外壳、滤布和滤管组成，所述过滤器置于封闭的空间中，在初始阶段从所述过滤器排出的酸液及空气返回进入废酸暂存桶；

步骤三，经所述滤布过滤后形成的干净酸进入所述滤管中，然后流出过滤器进入干净桶，固体颗粒被拦截在滤布表面形成滤饼；

步骤四，所述废酸暂存桶中的废酸降至预设液位或所述过滤器的进出口压差达到预设定值或过滤运行时间达到预设定值时，先补气到过滤器内排走残留液和烘干滤饼，再逆向补气爆破滤饼，回收滤饼；

步骤五，给水冲洗过滤器内部，再补气排水，等待进入下一个循环。