[发明专利]一种消除蓝宝石薄片应力的方法及设备有效
| 申请号： | 201410466590.7 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN105401220B | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吴云才 | 申请（专利权）人： | 浙江汇锋塑胶科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 徐关寿 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种消除蓝宝石薄片应力的方法及设备。包括升温步骤、保温步骤和降温步骤，其特征在于所述蓝宝石薄片紧密贴合形成工件，水平放置在蓝宝石长晶炉内，其中，上述升温、保温和降温步骤在封闭热场中进行，该封闭热场由若干水平等温面组成，蓝宝石薄片的产品大面与水平等温面平行，在封闭热场中竖直方向的温度梯度Gv和水平方向的温度梯度Gh都趋向于零。本发明可有效消除薄片内部应力、并且可以愈合加工过程产生的损伤，使蓝宝石薄片的强度大幅度提高，充分发挥了蓝宝石的优良特性。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石薄片 热场 降温步骤 温度梯度 封闭 蓝宝石长晶炉 蓝宝石 保温步骤 紧密贴合 竖直 大面 愈合 保温 平行 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种消除蓝宝石薄片应力的方法，包括升温步骤、保温步骤和降温步骤，其特征在于所述蓝宝石薄片紧密贴合形成工件，水平放置在蓝宝石长晶炉内；升温步骤，炉内温度从室温升高至1900℃，升温速率小于180℃ / 小时，保温步骤，炉内升温至1900℃ ~2050℃，并保温15 小时以上，利用热场中反馈的温度信号变化进行PID 整定，精确控制长晶炉加热装置的输出功率，实现监测点温度波动小于0.01 度/ 小时，降温步骤，匀速降温至室温，降温速率小于100℃ / 小时，其中，上述升温、保温和降温步骤在封闭热场中进行，该封闭热场由若干水平等温面组成，蓝宝石薄片的产品大面与水平等温面平行，在封闭热场中竖直方向的温度梯度Gv 和水平方向的温度梯度Gh 都趋向于零；所述长晶炉内充有保护气体氦气或氩气，气体压力维持在25‑50 TORR，炉内通入保护气体的流量为0.5‑1 CFH。
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