[发明专利]一种改性多孔性二氧化硅减反膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 201410454956.9 申请日: 2014-09-09
公开(公告)号: CN104230178A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 熊怀;唐永兴;沈斌;陈知亚 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: C03C17/23 分类号: C03C17/23;C04B41/50
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯;张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种改性多孔性二氧化硅减反膜的制备方法,采用正硅酸乙酯先掺杂甲基三乙氧基硅烷碱催化后酸催化的方法制备涂膜液,适用于滚涂法、或喷涂法、或浸涂法、或旋涂法,在基板上涂制多孔性二氧化硅基膜层,高温热处理后得到多孔性二氧化硅膜层。本发明制备的膜层具有耐沾污、高硬度、高化学稳定性、自洁性好和宽带减反的特点。
搜索关键词: 一种 改性 多孔 二氧化硅 减反膜 制备 方法
【主权项】:
一种改性多孔性二氧化硅减反膜的制备方法,其基本特征在于,该方法包括如下步骤:①碱催化溶液制备碱催化溶液原料由正硅酸乙酯、甲基三乙氧基硅烷、去离子水和氨构成,其中正硅酸乙酯与甲基三乙氧基硅烷的摩尔比为(0.9~0.1):(0.1~0.9),正硅酸乙酯与甲基三乙氧基硅烷之和:去离子水:氨=1:(2~5):(0.3~0.9),选定原料的摩尔配比,并称量原料置于玻璃容器中,室温混合搅拌0.2~24小时,密封后放入35~70℃烘箱中陈化1~50天后,溶液呈半透明;采用减压回流方法抽除溶液中的氨,使溶液的酸碱度呈中性;②酸催化原料配方:酸催化原料由正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水和氯化氢构成,其中正硅酸乙酯与碱催化溶液中的正硅酸乙酯的摩尔比为1:(0.67~5.67),酸催化原料的摩尔比为:正硅酸乙酯:无水乙醇:去离子水:氯化氢=1:(25.6~58.7):(4~5):(0.01~0.1),根据上述配方并选定原料的摩尔比后,称量原料正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水、和氯化氢;③将经第①步回流后的溶液,边搅拌,边依次加入第②步称量的无水乙醇、正硅酸乙酯、去离子水和氯化氢,胶体的PH值3~4,之后再搅拌0.2~24小时,密封后室温放置陈化1‑20天,待用。④采用滚涂法、旋涂法、和喷涂法进行基板单面涂膜,或采用浸涂法进行基板双面涂膜;⑤涂膜基板在150℃预固化2~5分钟,再放入马弗炉650~730℃固化2分钟。
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