[发明专利]一种磁偏转质谱计的校准装置及校准方法

摘要

本发明公开了一种磁偏转质谱计的校准装置及校准方法，可以实现磁偏转质谱仪的校准，相比于现有的校准装置，由于设置了稳压室，通过对稳压室压力的测量实现了对质谱仪所在空间压力的间接测量，因此可以避免磁悬浮转子真空计对质谱仪磁场的干扰引起的测量不确定度，使得对质谱仪的校准更加精确；校准装置既可以引入单一气体对质谱计进行校准，也可以配置多种混合气体对质谱计进行校准，使得本发明的校准装置具有更广泛的适用范围，由于质谱仪多用于测量混合气体，因此本发明的校准装置更接近质谱仪使用的真实气体环境，从而使得对质谱计的校准更加准确。

主权项

一种磁偏转质谱计的校准装置，其特征在于，包括双涡轮分子泵(1)、双球真空室、第一电离真空计(3)、第二电离真空计(4)、第二截止阀(10)、第一微调阀(15)、磁悬浮转子真空计(17)、稳压室(18)、第四截止阀(23)、第一高纯气瓶(24)以及机械泵(25)；所述双球真空室由两个球形真空室组成，分别为校准室(9)和抽气室(2)，校准室(9)和抽气室(2)通过抽气小孔(8)互相联通；所述抽气室(2)底部与双涡轮分子泵(1)的抽气口联通，抽气室(2)连接第一电离真空计(3)；所述磁偏转质谱计(7)探测端插入所述校准室(9)中；校准室(9)连接第二电离真空计(4)；所述第二截止阀(10)的一个端口a接校准室(9)的进气口，另一个端口b接供气管道A，所述供气管道A中依次串接第一微调阀(15)、稳压室(18)、第四截止阀(23)以及第一高纯气瓶(24)，其中，稳压室(18)连接磁悬浮转子真空计(17)；所述供气管道A接所述机械泵(25)的抽气口；所述第二截止阀(10)的端口b接有的供气管道A有N条，N个第一高纯气瓶(24)中所充气体不同，其中，N取大于或等于1的整数；所述第二截止阀(10)的端口b还接有供气管道B，该供气管道B上依次串联有第一限流孔(5)、第一截止阀(6)和配样室(19)，其中，配样室(19)的进口串联第五截止阀(31)后与单级涡轮分子泵(30)的抽气口相连；配样室(19)还接有复合真空计(11)；配样室(19)后端管路中接有M条供气管路C，每条供气管道C中依次串接有第三截止阀(20)、电容薄膜真空计(21)、第三微调阀(26)、第六截止阀(32)以及第二高纯气瓶(33)；其中，M取大于或等于2的整数；所述供气管道C通过三通阀(22)连接所述机械泵(25)的抽气口。