[发明专利]芳族聚缩醛及其制品有效
申请号: | 201410445598.5 | 申请日: | 2014-07-16 |
公开(公告)号: | CN104341583B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | M·S·奥伯;D·R·罗默;J·B·艾坦内;P·J·托马斯 | 申请(专利权)人: | 陶氏环球技术有限公司 |
主分类号: | C08G61/12 | 分类号: | C08G61/12;G03F7/004 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 芳族聚缩醛及其制品。一种包括具有以下结构的重复单元的聚合物,其中R1、R2、Ar1、Ar2和Ar3如本文所定义。所述聚合物可以通过Suzuki缩聚制备。在聚合物主链中的缩醛和/或缩酮官能使得主链在酸中是可破裂的。所述聚合物在包括光刻光致抗蚀剂的应用中是有用的。 | ||
搜索关键词: | 芳族聚缩醛 及其 制品 | ||
【主权项】:
包括多个具有以下结构的重复单元的聚合物其中R1和R2的每次出现独立地为氢、未取代的或取代的C1‑18线性或支化的烷基、取代或未取代的C3‑18的环烷基,未取代的或取代的C6‑18的芳基,或未取代的或取代的C3‑18的杂芳基;条件是R1和R2中的至少一个不是氢;和R1和R2任选地彼此共价连接以形成包括‑R1‑C‑R2‑的环;Ar1、Ar2和Ar3的每次出现独立地为未取代的或取代的C6‑18的亚芳基,或未取代的或取代的C3‑18的亚杂芳基;条件是Ar1、Ar2和Ar3的至少一次出现被选自羟基、缩醛、缩酮、酯和内酯的至少一个官能团取代。
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