[发明专利]声响转换器及麦克风

摘要

本发明提供一种声响转换器及麦克风，通过维持频率特性，且抑制施加了较大的空气压时的振动电极板的位移(变形)，避免静电容量型声响传感器等的应力集中或电极板的破损。基板(22)具有上下贯通的空洞(23)。以覆盖空洞(23)的上面开口的方式在基板(22)的上面配设振动膜(24)。在基板(22)的上面，以覆盖振动膜(24)的方式设置穹顶状的背板(28)。在背板(28)的下面，与振动膜(24)相对地设置固定电极板(29)。在背板(28)及固定电极板(29)上设有多个声孔(31)。在振动膜(24)的中央部设有开口(24a)，在开口(24a)内配置有调整部(25)。调整部(25)利用从背板(28)的下面向下方延伸的支承部(44)被支承。

主权项

一种声响转换器，其特征在于，具有：基板，其具有空洞；振动电极板，其配设在所述基板的上方，具有用于释放压力的空隙部；固定电极板，其以与所述振动电极板相对的方式配置在所述基板的上方；泄漏压调整部，其以如下方式配置，即，在所述振动电极板未变形时，防止通过所述空隙部的空气压的泄漏，在所述振动电极板受到压力而变形时，使所述空隙部分开而通过所述空隙部释放压力，所述泄漏压调整部是收纳在未变形时的所述振动电极板的开口的板状部件。