[发明专利]蒸镀坩埚和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201410440677.7 | 申请日： | 2014-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN104233196B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 张金中 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。本发明所提供的蒸镀坩埚能够对蒸镀材料进行均匀加热，改善蒸镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率；所述蒸镀坩埚还包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与所述导热层相连，所述导热结构包括多个导热隔板，多个所述导热隔板将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体。
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