[发明专利]一种检测扫描机台的性能方法

摘要

本发明涉及半导体检测领域，具体涉及一种检测扫描机台的性能方法，在扫描机台处在最佳状态的时候，使用标准控片建立数字化的检测晶圆，以此作判定机台PM处理后的扫描缺陷性能标准，使用该方法可以准确了解机台的光学参数是否得到恢复，能及发现机台参数的变化，并予以调整，减少对生产线受影响的产品，尤其是对高精度的缺陷扫描机台的性能维护有很大的帮助。

主权项

一种检测扫描机台的性能方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供一具有图案的监控片，将所述监控片划分为若干面积均等的单元区，利用一扫描机台对所述监控片重复扫描多次，获取对应每个单元区的多个灰阶数值；步骤S2、当其中一个或多个所述单元区的所述灰阶数值与临近的其他所述单元区的所述灰阶数值存在明显偏移，判断存在明显偏移的所述单元区为缺陷所在的单元区，并将所述缺陷所在单元区进行滤除；步骤S3、将保留下来的每个单元区所对应的多个灰阶数值进行平均化处理，以生成一数字化的模拟晶圆；步骤S4、对所述扫描机台进行维护处理，之后利用该扫描机台对所述监控片进行扫描，获取每个单元区的灰阶数值；当其中一个或多个所述单元区的所述灰阶数值与临近的其他所述单元区的所述灰阶数值存在明显偏移，判断存在明显偏移的所述单元区为缺陷所在的单元区，并将所述缺陷所在单元区进行滤除，生成一数字化的检测晶圆；步骤S5、将所述数字化的模拟晶圆与所述数字化的检测晶圆对应芯片单元上所有灰阶数值进行比对，通过所述灰阶数值有无明显偏差，判断经过维护处理后的扫描机台是否存在异常，若存在异常，则继续进行步骤S4。