[发明专利]工艺腔室的派货方法和系统有效
| 申请号： | 201410440424.X | 申请日： | 2014-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105446281B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 李红;张昊;肖柯 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种工艺腔室的派货方法和系统，通过将具体的派货规则细化到机台中的每个工艺腔室，并对并行模式的工艺腔室和串行模式的工艺腔室分别采取有针对性的方式进行派货，并且还通过一派货系统实现派货规则的自动化执行，从而解决了现有技术中当发生堆货情况时，进行人工派货而可能引起的工艺腔室利用率不高、产能下降等问题，在一定程度上提高了机台中每个工艺腔室的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种工艺腔室的派货方法，应用于设置有工艺腔室的机台上，其特征在于，所述方法包括：步骤S1、获取并根据所述机台上工艺腔室信息和该机台当前需要派货的批次信息，生成所述机台的工艺腔室负荷率；步骤S2、获取并根据所述机台上工艺腔室跑货的历史数据，生成该机台的工艺腔室派货时长数据；步骤S3、根据所述工艺腔室负荷率和所述工艺腔室派货时长数据，基于RTD系统生成所述机台批次的派货规则，并根据所述派货规则对所述机台上的工艺腔室进行派货操作；在步骤S3中，具体还包括：根据所述工艺腔室负荷率和所述工艺腔室派货时长数据，判断所述机台是否处于堆货状态；若所述机台处于堆货状态时，优先根据所述机台的产能最大化，并兼顾所述工艺腔室的利用率最大化，将当前需要派货的批次进行派货；若所述机台处于非堆货状态时，直接根据机台工艺腔室的利用率最大化将当前需要派货的批次进行派货。
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