[发明专利]一种微机械静电驱动的梳齿结构

摘要

本发明公开了属于微机械静电驱动技术领域的一种微机械静电驱动的梳齿结构。所述梳齿的形状采用三角形与梯形结合的方式，或是三角形与矩形结合的方式，或是梯形之间互相结合的方式。所述微机械静电驱动的梳齿结构是两片梳齿对插，直接与器件基底固连的为定电极，通过主梁、弹簧梁与器件基底固连的为动电极，主梁、弹簧梁、动电极共同构成结构的可动部分。在微机械静电驱动器的定电极与动电极之间施加电压，静电力就会驱动动电极发生机械运动或是产生位移。本发明的梳齿结构在微机械静电驱动器的使用，相比于使用传统的矩梳齿的静电驱动器，可以在不降低驱动行程的前提下，降低驱动电压。

主权项

一种微机械静电驱动的梳齿结构，其特征在于，梳齿的形状采用三角形与梯形结合的方式，或是三角形与矩形结合的方式，或是梯形之间互相结合的方式；其中单个梳齿的光刻面图形形状为斜三角形或斜梯形，即非直角三角形或非直角梯形。