[发明专利]感测装置

摘要

本发明公开一种感测装置，该感测装置包括多个感测像素，所述多个感测像素排列成阵列，且各感测像素包括主动元件以及感测元件。感测元件与主动元件电性连接，其中感测元件包括第一电极层、非晶硅层、第二电极层以及石墨烯层。非晶硅层配置在第一电极层上。第二电极层配置在非晶硅层上，其中第二电极层具有开口。石墨烯层与该第二电极层及非晶硅层接触。本发明的感测装置可通过减少的光刻蚀刻工艺数来制造，藉此可降低工艺复杂度及工艺时间。

主权项

一种感测装置，包括多个感测像素，所述多个感测像素排列成阵列，且各该感测像素包括：一主动元件；以及一感测元件，与该主动元件电性连接，其中该感测元件包括：一第一电极层；一非晶硅层，配置在该第一电极层上；一第二电极层，配置在该非晶硅层上，其中该第二电极层具有一开口；以及一石墨烯层，与该第二电极层及该非晶硅层接触。