[发明专利]一种阴极电弧离子镀磁场调节装置在审
| 申请号： | 201410435099.8 | 申请日： | 2014-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN105463398A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 田灿鑫;韩滨;左飞龙;付德君 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443500 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种阴极电弧的磁场调节装置，PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座，阴极靶座上表面设有凹槽，靶材设在凹槽内，阴极靶座内设有水道，调节装置包括设在阴极靶座下表面的螺杆，磁铁装置设在螺杆上、并能沿螺杆移动；磁铁装置包括横截面为U型的不锈钢圆环，在不锈钢圆环的U型槽内设有永磁体，在不锈钢圆环中心孔壁上设有聚四氟层，聚四氟层表面有螺纹与螺杆面表相啮合。本发明在阴极电弧离子镀膜过程中，可根据靶材消耗及更换过程中将永磁体后退或前进，方便调节靶材表面磁场。同时永磁体和螺杆之间通过四氟绝缘，可以在靶材工作过程中，时时安全调节磁铁位置，保持弧电流，沉积速率及膜层性能的稳定性，保证镀膜工艺的稳定性和可重复性。本发明结构简单，调节方便、灵活、快捷、安全，且镀膜效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 电弧 离子镀 磁场 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种阴极电弧的磁场调节装置，PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座（1），阴极靶座（1）上表面设有凹槽（2），靶材（3）设在凹槽（2）内，阴极靶座（1）内设有水道（4），其特征是：所述调节装置包括设在阴极靶座（1）下表面的螺杆（5），磁铁装置设在螺杆（5）上、并能沿螺杆（5）移动；所述磁铁装置（10）包括横截面为U型的不锈钢圆环（6），在不锈钢圆环（6）的U型槽内设有永磁体（7），在不锈钢圆环（6）中心孔壁上设有聚四氟层（8），聚四氟层（8）表面有螺纹与螺杆（5）面表相啮合。
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