[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201410433251.9 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104233195B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 吴海东;马群;金泰逵 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，该蒸镀设备包括用于承载待蒸镀基板的机台，所述机台的承载面包括多个分区，每一分区对应所述待蒸镀基板的一蒸镀区；分区温控装置，包括至少两个温控部和温度控制装置，其中，每一所述分区设置一所述温控部，所述温度控制装置用于对所述温控部所提供的温度进行控制，以控制对应的所述蒸镀区上的镀膜的沉积速率。通过本发明，可以在蒸镀一批基板的初期，测量完成蒸镀后的基板的镀膜的厚度，并根据测量的镀膜的厚度，调节不同分区的温控部所提供的温度，以控制下一待蒸镀基板的不同蒸镀区上镀膜的沉积速率，从而保证后续蒸镀的基板的镀膜的厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，包括：用于承载待蒸镀基板的机台，所述机台的承载面包括多个分区，每一分区对应所述待蒸镀基板的一蒸镀区；分区温控装置，包括温度控制装置和至少两个温控部，其中，每一所述分区设置一所述温控部，所述温度控制装置用于对所述温控部所提供的温度进行控制，以控制对应的所述蒸镀区上的镀膜的沉积速率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410433251.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
