[发明专利]具有温度补偿和谐振频率修调功能的FBAR及滤波器有效
| 申请号： | 201410430093.1 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104242864B | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 高杨;周斌;何移;李君儒;何婉婧;黄振华;蔡洵 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/54;H03H3/04 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙)51211 | 代理人： | 张新 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了具有温度补偿和谐振频率修调功能的FBAR及滤波器，其中FBAR包括衬底、温度补偿和谐振频率修调层、支撑层、底电极、顶电极和压电薄膜；温度补偿和谐振频率修调层的底部中间设置有凹槽，衬底设置于凹槽两边的下面，衬底和温度补偿和谐振频率修调层的底面形成有一空腔；支撑层设置于温度补偿和谐振频率修调层的上面；底电极与顶电极之间设置压电薄膜；该FBAR及滤波器能够有效降低由于负温度系数压电薄膜造成的温度‑频率漂移，从而提高FBAR的温度稳定性；在后处理工艺中，通过控制FBAR叠层中温度补偿和谐振频率修调层的刻蚀时间来调整其厚度，能有效降低由于工艺误差造成的频率漂移，从而提高FBAR的频率精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 温度 补偿 谐振 频率 功能 fbar 滤波器 | ||
【主权项】：
具有温度补偿和谐振频率修调功能的FBAR，其特征在于：FBAR的叠层包括衬底、温度补偿和谐振频率修调层、支撑层、底电极、顶电极和压电薄膜；温度补偿和谐振频率修调层的底部中间设置有凹槽，衬底设置于凹槽两边的下面，衬底和温度补偿和谐振频率修调层的底面形成有一空腔；支撑层设置于温度补偿和谐振频率修调层的上面；底电极完全紧贴于支撑层的上面设置，顶电极的一部分紧贴于支撑层的上面设置，顶电极的另一部分向上延伸至底电极上面，底电极与顶电极之间设置压电薄膜。
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