[发明专利]柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法

摘要

本发明涉及一种柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置及方法。本发明的装置包括集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置、工件装夹及间隙调整机构、柔性抛光垫实时修整装置，集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置包括有环形研磨盘、集群磁极、分隔盘、下端盖、转盘，工件装夹及间隙调整机构包括有内支撑环、外支撑环、基准游星轮、移动圆柱、上端盖、深度尺、联接轴、胀紧套、内齿轮、外齿轮，柔性抛光垫实时在线修整装置包括有修整游星轮、磁极。本发明实现了在不更换磁流变液的情况对工件实现研磨、粗抛光到精抛光的全过程，所获得的工件表面质量好，加工效率高，而且无表面和亚表面损伤，成本低，可以用于各类光学元件及半导体基片的加工。

主权项

一种柔性抛光垫在线修整的超光滑平面研磨抛光装置，其特征在于包括集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置、工件装夹及间隙调整机构、柔性抛光垫实时在线修整装置，集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置包括有环形研磨盘（1）、集群磁极（2）、分隔盘（3）、下端盖（4）、转盘（20），工件装夹及间隙调整机构包括有内支撑环（5）、外支撑环（6）、基准游星轮（7）、移动圆柱（8）、上端盖（9）、深度尺（10）、联接轴（11）、胀紧套（12）、内齿轮（13）、外齿轮（14），柔性抛光垫实时在线修整装置包括有修整游星轮（17）、磁极（18）, 其中下端盖（4）固定在环形研磨盘（1）的底部，集群磁极（2）镶嵌在环形研磨盘（1）的内部，分隔盘（3）镶嵌在研磨盘（1）的内部且分隔集群磁极（2），且集群磁极（2）和分隔盘（3）固定在下端盖（4）的底部内侧，转盘（20）固定在下端盖（4）的底部外侧，支撑并带动集群磁流变磨料半固着柔性抛光垫发生装置旋转，内支撑环（5）固定在环形研磨盘（1）的内圈，外支撑环（6）固定在环形研磨盘（1）的外圈，环形研磨盘（1）的中空腔体内装设基准游星轮（7）及修整游星轮（17），外齿轮（14）装设在环形研磨盘（1）的内侧壁，内齿轮（13）分别与基准游星轮（7）及修整游星轮（17）外啮合，外齿轮（14）分别与基准游星轮（7）及修整游星轮（17）内啮合，基准游星轮（7）套装在移动圆柱（8）上，移动圆柱（8）的下端面固定工件（21），联接轴（11）的下端与移动圆柱（8）的上端连接，胀紧套（12）套装在联接轴（11）的外侧，上端盖（9）装设在胀紧套（12）的顶部，联接轴（11）的上端穿过上端盖（9），深度尺（10）装设在联接轴（11）的上端，磁极（18）镶嵌在修整游星轮（17）的内部，环形研磨盘（1）工作时其上方需要提供磁流变液（23）。