[发明专利]探空仪用加热式湿度传感器及其制备方法及一种湿度检测电路

摘要

探空仪用加热式湿度传感器及其制备方法及一种湿度检测电路，属于湿度度传感器技术领域。为了解决高空低温、高湿恶劣环境下探空仪湿度传感器容易结露，高空环境下湿度波动大、电路板分布电容对测量结果有影响的问题。本发明的湿度传感器为具有蛇形加热器的平板夹心电容式湿度传感器，并提供了所述传感器的制备方法。还提出一种基于电容充放电及比较法的湿度测量电路，从而有效的抑制温度漂移和零点漂移，减小寄生电容对测量结果的影响。它用于探空仪中。

主权项

探空仪用加热式湿度传感器，其特征在于，它包括由基底(1)、第一绝缘层(2)、蛇形加热器电极(8)、第二绝缘层(9)、下电极(10)、感湿层(11)和多孔上电极(12)；其中，基底(1)的上表面铺设第一绝缘层(2)；在第一绝缘层(2)的上表面设置有蛇形加热器电极(8)；所述蛇形加热器电极(8)包括第一加热器焊盘(5)、第二加热器焊盘(6)、第一引出电极、第一部分蛇形电极、第二部分蛇形电极、第三部分蛇形电极和第二引出电极；第一引出电极的一端与第一部分蛇形电极的首端连接，第一部分蛇形电极的末端与第二部分蛇形电极的首端连接，第二部分蛇形电极的末端与第三部分蛇形电极的首端连接，第三部分蛇形电极的末端和第二引出电极的一端连接，第一引出电极的另一端与第一加热器焊盘(5)连接，第二引出电极的另一端与第二加热器焊盘(6)连接；第一部分蛇形电极和第三部分蛇形电极在第二部分蛇形电极的两侧呈镜像对称，且第一部分蛇形电极的蛇形排布方向与第二部分蛇形电极的蛇形排布方向互相垂直；所述第二绝缘层(9)铺设在蛇形加热器电极(8)上，并且露出第一加热器焊盘(5)和第二加热器焊盘(6)；所述下电极(10)铺设在第二绝缘层(9)上；所述感湿层(11)铺设在下电极(10)上；所述多孔上电极(12)铺设在感湿层(11)上；所述基底(1)的下表面设置有经镂空后形成的凹槽(13)。