[发明专利]用于薄膜嵌段共聚物取向控制的酸酐共聚物面涂层有效
| 申请号： | 201410409101.4 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104592539B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | C·G·威尔森;C·J·埃利森;T·濑下;J·卡申;C·M·贝茨;L·迪安;L·J·桑托斯;E·L·劳施;M·马厄 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯大学体系董事会 |
| 主分类号： | C08J7/04 | 分类号： | C08J7/04;C08L53/00;C03C17/42;C04B41/52 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 使用自组装嵌段共聚物结构制备先进的平版印刷图案取决于控制这些结构在薄膜中的取向。特别地，垂直于嵌段共聚物膜平面的圆柱体和片状的取向在大多数应用中是需要的。实现取向的优选方法是通过加热。本发明包括使用极性转换(polarity‑switching)面涂层通过加热来控制嵌段共聚物薄膜取向。面涂层可以从极性铸膜溶剂旋涂在嵌段共聚物薄膜上，并且其在热退火时改变组成而变成“中性的”。面涂层能够有助于嵌段共聚物的取向控制，除此之外仅通过加热该取向控制是不可能的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 共聚物 取向 控制 酸酐 涂层 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：a.提供具有表面的基底、表面中和层、嵌段共聚物和面涂层，b.在产生第一层的条件下，用所述表面中和层处理所述基底表面；c.在所述表面上产生包括嵌段共聚物膜的第二层的条件下，用嵌段共聚物涂覆所述表面中和层，以及d.用面涂层涂覆所述嵌段共聚物，从而在所述表面上产生第三层，其中，仅通过热退火所述第三层能够使嵌段共聚物微区垂直于膜平面取向，其中将面涂层溶解于液体中，该液体包含水、醇和有机溶剂中的任意两种或更多种的混合物。
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