[发明专利]质谱仪系统及用于抽空该系统的方法有效
| 申请号： | 201410408938.7 | 申请日： | 2014-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN104421191B | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | A·马卡洛夫;W·布拉舒恩 | 申请（专利权）人： | 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司 |
| 主分类号： | F04D25/16 | 分类号： | F04D25/16;F04D19/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 浦易文 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于抽空至少5个腔室的真空泵系统，包括一个前级真空泵和一个涡轮分子泵安排，该系统被安排为使得该前级真空泵将该涡轮分子泵安排的输出端泵抽至大气压。该涡轮分子泵安排包括转子叶片分离的至少5个泵抽级腔室；不多于3个泵抽级在真空下具有超过最高泵抽速度的1/3的泵抽速度和/或超过最高泵抽端口截面的1/3的泵抽端口截面；至少2个泵抽级在真空下具有小于最高泵抽速度的1/4的泵抽速度和/或小于最大泵抽端口截面的1/4的泵抽端口截面。在真空下具有最高压力的泵抽级与具有最低压力的泵抽级之间的压力的比率是至少1000001。本发明还涉及一种质谱仪系统和一种用于抽空至少5个腔室的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 质谱仪 系统 用于 抽空 方法 | ||
【主权项】：
一种质谱仪系统，所述质谱仪系统包括一个离子源、一个质量分析器和一个用于将来自该离子源的离子传输到该质量分析器的离子光学安排，所述质谱仪系统还包括用于抽空质谱仪的至少5个腔室的真空泵系统，所述真空泵系统包括一个前级真空泵和一个涡轮分子泵安排，该系统被安排为使得该前级真空泵将该涡轮分子泵安排的一个输出端泵抽到大气压；并且其中该涡轮分子泵安排包括多个对应于不同泵抽级的泵抽端口并且被配置为使得：存在至少5个泵抽级，每个泵抽级连接到一个腔室；每个泵抽级是通过至少一组转子叶片和至少一组定子叶片而分离的；不多于3个泵抽级在真空下具有超过一个泵抽级的最高泵抽速度的1/3的泵抽速度和/或超过最大泵抽端口截面的1/3的泵抽端口截面；至少2个泵抽级在真空下具有小于一个泵抽级的最高泵抽速度的1/4的泵抽速度和/或小于最大泵抽端口截面的1/4的泵抽端口截面；其中在真空下在具有最高压力的泵抽级与具有最低压力的泵抽级之间的压力的比率是至少100000:1。
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