[发明专利]基于虚拟光栅尺的主动型超精密位移定位检测方法有效
| 申请号： | 201410401099.6 | 申请日： | 2014-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN104181939A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 时轮 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王毓理;王锡麟 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种位置或方向的控制领域的基于虚拟光栅尺的主动型超精密位移定位检测方法，该方法首先进行宏定位，当定位位移小于条纹当量时上下移动光栅相位从而形成两路虚拟光栅尺信号，两路虚拟光栅尺信号分别对应上下两个移动方向，对两路虚拟光栅尺信号进行脉冲计数反馈控制以实现微定位。本发明形成具有双路输出信号的虚拟光栅尺输出脉冲，实现以虚拟光栅尺信号为反馈脉冲的闭环脉冲反馈控制以提高定位系统的检测控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 虚拟 光栅尺 主动 精密 位移 定位 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种位移定位检测方法，其特征在于，首先进行宏定位，当定位位移小于条纹当量时上下移动光栅相位从而形成两路虚拟光栅尺信号，两路虚拟光栅尺信号分别对应上下两个移动方向，对两路虚拟光栅尺信号进行脉冲计数反馈控制以实现微定位。
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