[发明专利]光学滤波器及其生产方法以及用于检查电磁辐射的装置

摘要

本发明涉及一种光学滤波器及其制造方法，以及涉及一种用于检查从物体发出的电磁辐射的光谱分布和位置分布的装置。本发明要解决的技术问题是，提出可以成本低廉地制造的上述种类的光学滤波器，用该滤波器可以探测多个波长，其中不需要通过DBR镜的移动来调谐。此外，提出了一种用于制造这样的滤波器的方法。按照本发明的第一方面，通过用于制造具有两个DBR镜和在它们之间存在的空腔的光学滤波器阵列的方法来解决上述技术问题，该空腔包含具有多个不同高度的、分别形成Fabry-Perot滤波器元件的空腔段，其特征在于如下步骤：将第一DBR镜涂覆到衬底上，在DBR镜上形成由空腔材料构成的层，其中，该层通过应用纳米刻印方法被设置为具有多个形成滤波器元件的空腔段，以及利用通过空腔段的不同高度预定的结构化将第二DBR镜涂覆到空腔材料上。

主权项

一种制造具有两个DBR镜(3，4)和在它们之间存在的空腔的光学滤波器阵列的方法，该空腔包含具有多个不同高度的、分别形成Fabry‑Perot滤波器元件(2a至2g)的空腔段(5a至5g)，其特征在于如下步骤：将第一DBR镜(3)涂覆到衬底(1)上，在所述DBR镜(3)上形成由空腔材料构成的层(5)，其中该层(5)通过应用纳米刻印方法被设置为具有多个形成滤波器元件(2a至2g)的空腔段(5a至5g)，以及利用通过所述空腔段(5a至5g)的不同高度预定的结构化将第二DBR镜(4)涂覆到所述空腔材料上，其中，所述层(5)以预选的厚度被涂覆并且其厚度借助于剥蚀方法被局部地降低，并且其中，互相分开地制造所述衬底(1)、DBR镜(3，4)和由空腔材料构成的层(5)并且然后正好地彼此重叠。