[发明专利]制造溅射靶的方法及制造有机发光显示设备的方法在审
| 申请号： | 201410390721.8 | 申请日： | 2014-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN104372297A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 丁善英;申尚煜;李壹相;金东镇;朴镇宇 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;龚振宇 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制造溅射靶的方法及制造有机发光显示设备的方法。制造溅射靶的方法包括下述步骤：准备包括低温粘度转变(LVT)无机材料的溅射靶材料；在低于大气压强的工作压强下熔化溅射靶材料；以及对熔化的溅射靶材料进行处理，从而形成溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 溅射 方法 有机 发光 显示 设备 | ||
【主权项】：
一种制造溅射靶的方法，其特征在于，所述方法包括下述步骤：准备包括低温粘度转变无机材料的溅射靶材料；在低于大气压强的工作压强下熔化溅射靶材料；以及对熔化的溅射靶材料进行处理，从而形成溅射靶。
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