[发明专利]半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法

摘要

本发明提供了一种半环形压电谐振陀螺仪及其制备方法，包括基底、基底上中心位置周围的环形空腔、环绕于支撑柱的半环形压电谐振体、连接到基底的上表面作为半环形压电谐振体支撑的支撑柱以及在半环形谐振体外表面上呈对称分布的八个电极，所述半环形压电谐振体定位成与所述基底的上表面分开以允许该压电谐振陀螺仪振动。本发明通过基底上表面的成型支撑柱对谐振体进行支撑，稳定性好，有利的减小支撑阻尼的影响，有利于提高陀螺Q值和灵敏度；工艺相对简单，利于实现；谐振体除去中间支撑外与基底分离，有利于其振动；采用压电材料，抗过载、抗冲击能力强，工作谐振频率高，启动时间短，与现有技术相比有明显优势。

主权项

一种半环形压电谐振陀螺仪，其特征在于，包括：一个具有上表面的方形基底；基底上中心位置周围的环形空腔；在基底上的半环形压电谐振体；固定在基底上对半环形压电谐振体起支撑作用的支撑柱以及其上的电极；在半环形压电谐振体外表面上呈对称分布的八个电极；其中：所述压电谐振陀螺最下方为基底；所述支撑柱位于基底的中心位置；所述环形空腔在所述支撑柱周围；所述半环形压电谐振体附接于所述支撑柱上，并与基底的上表面分开以进行振动；所述八个电极在半环形压电谐振体上表面与外部电路相连接；所述八个电极分为四对，分别为驱动电极对、检测电极对、监测电极对和平衡电极对；每对电极对中的两个电极之间相差180度；所述基底的上表面之上以及环形空腔之上形成一层泡层，所述泡层采用玻璃材料，在所述环形空腔之上形成半环形泡；半环形泡上的所述谐振体进一步包括：一谐振材料层；在谐振材料层上设有用于底部引出的金属导电层；金属导电层上方设有压电材料层；所述压电材料层上方设有金属电极，即在所述半环形压电谐振体外表面上呈对称分布的八个电极。