[发明专利]一种曝光单元的排布方法

摘要

本发明提供一种曝光单元的排布方法，包括步骤一、定义选取对位标记曝光单元的标准；步骤二、以一定步长分别沿与管芯的第一边平行的第一方向和与第一边垂直的第二方向移动，直至沿第一方向和第二方向的偏移量距离达到半个管芯的长度，得到该步长精度下所有可能的有效管芯数量及曝光单元排布；步骤三、选取所述步骤二中有效管芯最多的排布，分别将所述偏移量加上整数个管芯，获得一系列满足有效管芯最大化的曝光单元排布；步骤四、依据所述标准，对所述步骤三中所获得的所述一系列曝光单元排布中位于晶圆边缘的曝光单元进行检查，选取满足所述标准的多个排布。本发明的曝光单元排布满足有效管芯最大化，避免放置虚拟图形，使曝光单元数目最少。

主权项

一种曝光单元的排布方法，包括：步骤一、定义选取对位标记曝光单元的标准，其中，定义所述标准的步骤包括：以晶圆的半径为有效半径，晶圆内的区域为有效区域；提供五组对位标记，分别为第一对位标记、第二对位标记、第三对位标记、第四对位标记和第五对位标记；将所述第一对位标记在内、第二对位标记在中间和第三对位标记在外沿曝光单元的第一边缘顺序拼接排列，将所述第一对位标记在内、第四对位标记在中间和第五对位标记在外，沿曝光单元的第二边缘顺序拼接排列；定义远离所述第一边缘和所述第二对位标记的所述第三对位标记的角为A点；定义位于所述第二对位标记和所述第三对位标记之间且远离所述第一边缘的所述第二对位标记或所述第三对位标记的角为B点；定义位于所述第四对位标记和所述第五对位标记之间且远离所述第二边缘的所述第四对位标记或所述第五对位标记的角为C点；定义远离所述第二边缘且与所述第四对位标记不接触的所述第五对位标记的角为D点；定义所述标准，包括：使对位标记所在的曝光单元的位置对于相对略大的有效半径，满足所述A、B、C和D四个点中至少两个点在有效区域内，而对于一个与所述有效半径同心且比所述有效半径相对略小的半径，满足所述A、B、C和D四个点中至多有3个点在有效区域内；步骤二、以一定步长分别沿与管芯的第一边平行的第一方向和与第一边垂直的第二方向移动，直至沿第一方向和第二方向的偏移量距离达到半个管芯的长度，得到该步长精度下所有可能的有效管芯数量及曝光单元排布；步骤三、选取所述步骤二中有效管芯最多或者满足对有效管芯数量最低要求的排布，分别将所述偏移量加上整数个管芯，获得一系列满足有效管芯最大化或者满足对有效管芯数量最低要求的曝光单元排布；步骤四、依据所述标准，对所述步骤三中所获得的所述一系列曝光单元排布中位于晶圆边缘的曝光单元进行检查，选取满足所述标准的多个排布，以得到即满足有效管芯数量最大化或者满足对有效管芯数量最低要求，又满足对位标记需求的曝光单元排布。