[发明专利]硫化镉微纳结构制备装置无效
| 申请号： | 201410377274.2 | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN104150526A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 卓朝旦 | 申请（专利权）人： | 奉化市宇创产品设计有限公司 |
| 主分类号： | C01G11/02 | 分类号： | C01G11/02;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 315500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明给出了一种硫化镉微纳结构制备装置，包括水平管式炉、两个陶瓷舟、加热机构、以及气体供应机构和气体净化机构，所述水平管式炉中设置有反应腔，所述加热机构设置在水平管式炉内，反应腔之外；所述气体供应机构的气体输出管穿过所述水平管式炉的一端，连接于所述反应腔的气体输入口；所述气体净化机构的气体收集管穿过所述水平管式炉的另一端，连接于所述反应腔的气体输出口。本发明的硫化镉微纳结构制备装置，能够将硫化镉在中心温区加热，并将蒸发起来的硫化镉吹到下气流，使得硫化镉沉积在硅片上，形成微纳结构。 | ||
| 搜索关键词： | 硫化 镉微纳 结构 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种硫化镉微纳结构制备装置，其特征在于，所述装置包括水平管式炉、两个陶瓷舟、加热机构、以及气体供应机构和气体净化机构，所述水平管式炉中设置有反应腔，所述加热机构设置在水平管式炉内，反应腔之外；所述气体供应机构的气体输出管穿过所述水平管式炉的一端，连接于所述反应腔的气体输入口；所述气体净化机构的气体收集管穿过所述水平管式炉的另一端，连接于所述反应腔的气体输出口；所述两个陶瓷舟中的一个陶瓷舟装载有硫化镉，并设置在反应腔内的对应加热机构的位置处；另一个陶瓷舟装载有镀金的硅片。
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