[发明专利]一种具有集成检测标记的光刻掩膜版及其应用

摘要

一种具有集成检测标记的光刻掩膜版，包括在所述光刻掩膜版上设置的对准标记、测量标记和包含脊形波导信息的图案，所述对准标记用于与晶片定位边对齐；测量标记A包括至少两条分别与所述对准标记相垂直的标记条；所述每条标记条分别包括个数相同的标记格顺次垂直于对准标记排列。本发明所述检验标记包括对准标记与偏离度测量标记，其中的偏离度测量标记设计，可同时用于检验工艺中图形质量。本发明提供的检验标记给出测量偏离度的简单有效的方法，有助于节省购买专用设备的资金、提高产品合格率；同时集偏离度测量与图形质量检验于一体，减少检验标记在晶片上的占用面积，提高有效产品产出率。

主权项

1.一种具有集成检测标记的光刻掩膜版，其特征在于，该掩膜板包括在所述光刻掩膜版上设置的对准标记、测量标记和包含脊形波导信息的图案，所述脊形波导信息的图案的方向是根据实际需要设计为垂直或平行于所述对准标记的：所述对准标记用于与晶片定位边对齐；所述的测量标记包括测量标记A，所述的测量标记A包括至少两条分别与所述对准标记相垂直的标记条；所述标记条之间的距离小于等于所述晶片定位边的长度；所述每条标记条分别包括个数相同的标记格顺次垂直于对准标记排列，所述单个标记格的尺寸相同。