[发明专利]研磨片酸腐蚀方法在审
| 申请号： | 201410370768.8 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105297017A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 苟钦泽;江笠 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨片酸腐蚀方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：5-15％氢氟酸，30-40％硝酸，20-25％冰醋酸，其余为水；每腐蚀20-40um研磨片后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.5-2.5倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5-2倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。本发明中的研磨片酸腐蚀方法，可将酸的总用量降低15％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 酸腐 方法 | ||
【主权项】：
研磨片酸腐蚀方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：5‑15％氢氟酸，30‑40％硝酸，20‑25％冰醋酸，其余为水；每腐蚀20‑40um研磨片后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.5‑2.5倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5‑2倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。
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