[发明专利]研磨片酸腐蚀方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种研磨片酸腐蚀方法。

背景技术

研磨片酸腐蚀工艺中，酸的消耗是生产成本高的一个重要原因。在每片研磨片的酸腐蚀过程中，以及每次酸腐蚀工艺完成后，剩余的混合酸溶液中尚有部分酸未使用，在现有技术中，只能完全丢弃，无法继续使用，这是造成生产成本高的原因之一。

发明内容

本发明的目的之一是为了克服现有技术中的不足，提供一种可循环使用混合酸溶液的研磨片酸腐蚀的方法。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

研磨片酸腐蚀方法，其特征在于，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：5-15％氢氟酸，30-40％硝酸，20-25％冰醋酸，其余为水；每腐蚀20-40um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.5-2.5倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5-2倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。

优选地是，使用的氢氟酸体积浓度为45-50％。

优选地是，使用的硝酸浓度为65-75％。

优选地是，使用的冰醋酸浓度为100％。

本发明中的研磨片酸腐蚀方法，可将酸的总用量降低15％以上。

具体实施方式

下面对本发明进行详细的描述：

实施例1

研磨片酸腐蚀方法，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：7％氢氟酸，35％硝酸，20％冰醋酸，其余为水；每腐蚀25um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.8倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。使用的氢氟酸体积浓度为45％。使用的硝酸浓度为65％。使用的冰醋酸浓度为100％。

实施例2

研磨片酸腐蚀方法，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：10％氢氟酸，35％硝酸，23％冰醋酸，其余为水；每腐蚀30um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的2倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。使用的氢氟酸体积浓度为47％。使用的硝酸浓度为70％。使用的冰醋酸浓度为100％。

实施例3

研磨片酸腐蚀方法，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：9％氢氟酸，35％硝酸，22％冰醋酸，其余为水；每腐蚀30um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.7倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.8倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。使用的氢氟酸体积浓度为49％。使用的硝酸浓度为70％。使用的冰醋酸浓度为100％。

实施例4

研磨片酸腐蚀方法，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：15％氢氟酸，40％硝酸，20％冰醋酸，其余为水；每腐蚀20um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.5倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的2倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。使用的氢氟酸体积浓度为50％。使用的硝酸浓度为65％。使用的冰醋酸浓度为100％。

实施例5

研磨片酸腐蚀方法，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：5％氢氟酸，30％硝酸，25％冰醋酸，其余为水；每腐蚀40um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的2.5倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.5倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。使用的氢氟酸体积浓度为50％。用的硝酸浓度为75％。用的冰醋酸浓度为100％。

实施例6

研磨片酸腐蚀方法，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：10％氢氟酸，32％硝酸，24％冰醋酸，其余为水；每腐蚀30um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.9倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.6倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。使用的氢氟酸体积浓度为48％。使用的硝酸浓度为69％。使用的冰醋酸浓度为100％。

实施例7

研磨片酸腐蚀方法，使用混合酸溶液腐蚀研磨片，混合酸溶液按体积百分比包括：11％氢氟酸，36％硝酸，23％冰醋酸，其余为水；每腐蚀35um硅后补充一次腐蚀液；氢氟酸补充量为消耗量的1.7倍；硝酸补充量为补充的氢氟酸量的1.8倍；冰醋酸补充量与氢氟酸补充量相同。使用的氢氟酸体积浓度为48％。使用的硝酸浓度为70％。使用的冰醋酸浓度为100％。

本发明中的酸腐蚀分两步腐蚀

第一步：硝酸氧化硅，生成SiO₂。