[发明专利]一种OLED发光层测试装置及测试方法有效
| 申请号： | 201410370433.6 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN104157585B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 向欣;禹浩荣;任海;成洛贤 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED发光层测试装置及测试方法，包括检测密封腔体、直角坐标机械手、驱动冶具、红外热像仪、机械手控制器、矩阵开关控制器、可编程驱动电源和上位机；本发明的OLED发光层测试装置及测试方法，能够快速检测出OLED发光层发热状况和膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 发光 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种OLED发光层测试装置，其特征在于：包括检测密封腔体(1)、直角坐标机械手(2)、驱动冶具(3)、红外热像仪(4)、机械手控制器(5)、矩阵开关控制器(6)、可编程驱动电源(7)和上位机(8)；所述直角坐标机械手(2)、驱动冶具(3)和红外热像仪(4)均位于检测密封腔体(1)内部；驱动冶具(3)位于检测密封腔体(1)底面，红外热像仪(4)固定连接在直角坐标机械手(2)上，直角坐标机械手(2)固定在检测密封腔体(1)上，红外热像仪(4)接收辐射的一端位于驱动冶具(3)的上方；上位机(8)分别连接红外热像仪(4)、机械手控制器(5)、矩阵开关控制器(6)和可编程驱动电源(7)；机械手控制器(5)与直角坐标机械手(2)相连，矩阵开关控制器(6)与驱动冶具(3)相连，可编程驱动电源(7)与矩阵开关控制器(6)相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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