[发明专利]一种磁悬浮式微机械开关

摘要

本发明公开了一种磁悬浮式微机械开关，包括玻璃衬底、螺旋线圈、悬浮结构体和硅层；硅层键合在玻璃衬底的顶面，硅层中设有空腔；螺旋线圈和悬浮结构体位于空腔中，螺旋线圈连接在玻璃衬底的顶面上，螺旋线圈的顶面设有一氧化硅层，悬浮结构体置于氧化硅层上方；硅层的顶面设有带孔的氧化层，氧化层的顶面设有相对的两根金属导线；金属导线、氧化层和硅层靠近内腔的一侧呈台阶状，且两根金属导线之间的距离小于氧化层上的孔的孔径；悬浮层可向上运动嵌至在氧化层上的孔中，且悬浮层顶面的两端与两个金属导线相接触。该磁悬浮式微机械开关避免了弹性开关使用时的疲劳磨损，具有闭灵活、性能稳定、安全可靠、使用寿命长的特点。

主权项

一种磁悬浮式微机械开关，其特征在于，该微机械开关包括玻璃衬底（1）、螺旋线圈（2）、悬浮结构体（10）和硅层（7）；硅层（7）键合在玻璃衬底（1）的顶面，硅层（7）中设有空腔（4），该空腔（4）连通外界和玻璃衬底（1）的顶面；螺旋线圈（2）和悬浮结构体（10）位于空腔（4）中，螺旋线圈（2）连接在玻璃衬底（1）的顶面上，螺旋线圈（2）的顶面设有一氧化硅层（3），悬浮结构体（10）置于氧化硅层（3）上方；硅层（7）的顶面设有带孔的氧化层（8），氧化层（8）上的孔和空腔（4）相通，氧化层（8）的顶面设有相对的两根金属导线（9）；每根金属导线（9）、氧化层（8）和硅层（7）靠近内腔（4）的一侧呈台阶状，且两根金属导线（9）之间的距离小于氧化层（8）上的孔的孔径；悬浮结构体（10）的长度大于两根金属导线（9）之间的距离，小于氧化层（8）孔的孔径；悬浮层（10）可向上运动嵌至在氧化层（8）上的孔中，且悬浮层（10）顶面的两端与两个金属导线（9）相接触。