[发明专利]一种磁悬浮式微机械开关有效
| 申请号： | 201410360017.8 | 申请日： | 2014-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN104103454A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;叶一舟 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H36/00 | 分类号： | H01H36/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁悬浮 式微 机械 开关 | ||
1.一种磁悬浮式微机械开关，其特征在于，该微机械开关包括玻璃衬底（1）、螺旋线圈（2）、悬浮结构体（10）和硅层（7）；
硅层（7）键合在玻璃衬底（1）的顶面，硅层（7）中设有空腔（4），该空腔（4）连通外界和玻璃衬底（1）的顶面；螺旋线圈（2）和悬浮结构体（10）位于空腔（4）中，螺旋线圈（2）连接在玻璃衬底（1）的顶面上，螺旋线圈（2）的顶面设有一氧化硅层（3），悬浮结构体（10）置于氧化硅层（3）上方；硅层（7）的顶面设有带孔的氧化层（8），氧化层（8）上的孔和空腔（4）相通，氧化层（8）的顶面设有相对的两根金属导线（9）；
每根金属导线（9）、氧化层（8）和硅层（7）靠近内腔（4）的一侧呈台阶状，且两根金属导线（9）之间的距离小于氧化层（8）上的孔的孔径；
悬浮结构体（10）的长度大于两根金属导线（9）之间的距离，小于氧化层（8）孔的孔径；悬浮层（10）可向上运动嵌至在氧化层（8）上的孔中，且悬浮层（10）顶面的两端与两个金属导线（9）相接触。
2.按照权利要求1所述的磁悬浮式微机械开关，其特征在于，所述的悬浮结构体（10）包括磁性材料层（5）和开关导线（6），开关导线（6）固定连接在磁性材料层（5）的顶面，磁性材料层（5）置于氧化硅层（3）上方。
3.按照权利要求2所述的磁悬浮式微机械开关，其特征在于，所述的开关导线（6）和金属导线（9）均由铜制成。
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